一、KYKY-EM8200場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 產(chǎn)品介紹

KYKY-EM8200超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，采用全新電子光學(xué)設(shè)計(jì)，基于減速樣品臺(tái)、新一代

低像差物鏡、Inlens探測(cè)器等技術(shù)，集成豐富的圖像處理功能，為新能源、半導(dǎo)體等用戶提供全新解

決方案。

二、KYKY-EM8200場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 產(chǎn)品特點(diǎn)

1、高分辨電子光學(xué)系統(tǒng)

新一代低像差物鏡

減速樣品臺(tái)

低壓高分辨成像

2、高校便捷的用戶體驗(yàn)

全新的用戶界面設(shè)計(jì)

豐富的軟件測(cè)量功能

光學(xué)導(dǎo)航

著陸束流檢測(cè)

3、高性能信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)

低噪聲Inlens探測(cè)器

自動(dòng)推入式背散射探測(cè)器

豐富的探測(cè)器拓展接口

三、KYKY-EM8200場(chǎng)發(fā)掃描電鏡 技術(shù)參數(shù)

四、KYKY-EM8200場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 產(chǎn)品功能

· 可任意設(shè)置不同探測(cè)器的信號(hào)混合比例

· 樣品區(qū)全域視場(chǎng)矩陣自動(dòng)規(guī)劃，拍照流程無需人工干預(yù)

· 百千張級(jí)數(shù)據(jù)量快速拼接實(shí)時(shí)預(yù)覽，構(gòu)建全域清晰掃描大圖

五、定制能力

1、電子束曝光（EBL）

2、真空互聯(lián)

·真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理，并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進(jìn)行觀測(cè)。

·自動(dòng)檢測(cè)和反饋系統(tǒng)，對(duì)樣品標(biāo)簽、位置狀態(tài)、樣品交接進(jìn)行監(jiān)控和記錄，可以清晰的了解樣品傳輸狀況。

3、激光聯(lián)用-超快電鏡

·超快電鏡利用激光、電場(chǎng)等外界刺激使樣品達(dá)到激發(fā)態(tài)。使用時(shí)間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電鏡燈絲，產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進(jìn)而收集表面逸出的二次電子對(duì)激發(fā)瞬態(tài)進(jìn)行表征。

六、應(yīng)用示例