靶材

Au 靶為標配，可選 Pt，直徑 57mm x 0.1mm 厚

標準樣品臺

可以裝載 12 個 SEM 樣品座，高度可調(diào)范圍為 60mm

旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺（選配）

旋轉(zhuǎn)速度： 0~60rpm 連續(xù)可調(diào)，傾斜角度： -90 °~ 90°連續(xù)可調(diào)；

不銹鋼腔體：直徑 120mm X 高 75mm；

觀察窗：直徑 120mm X 高 45mm；

標配旋轉(zhuǎn)臺直徑 40mm，可放 4 個標準樣品臺， 其它規(guī)格可訂

做； 具有雙重鎖緊裝置， 可確保樣品在旋轉(zhuǎn)傾斜時不會松動脫

落。

濺射電流

微處理器控制， 安全互鎖，可調(diào)，電流 5~30mA，程序化數(shù)字控制

計量表

真空：  Atm - 1*10-3 mbar，電流： 0~99mA

控制方法

帶有 “開始"“暫停"按鈕的微處理控制器（1－999s），自動抽氣、濺

射、關(guān)機后自動放氣。

真空系統(tǒng)

抽氣速率

133L/MIN

極限真空

10-4  mbar 級

噪音

56dB